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奨励賞 東京技術研究所(川崎市)
神奈川工業技術開発大賞(7)性能高め販路を拡大

経済 神奈川新聞  2019年12月11日 16:00

 半導体製造装置に使われる配管を一定の温度に保つために使われる「マントルヒ-タ-」。別名、ジャケットヒ-タ-などとも言われ、ニクロム線を組み入れたジャケットで、配管を包んで温める。これを「防水仕様」にしたのが今回の受賞製品「防水型マントルヒ-タ-」だ。

 開発を率いた生産技術部の片岡薫部長(43)は、「半導体製造装置ではない、別の場面でも使いたいという潜在的ニ-ズがあった」と開発のきっかけを明かす。

 同社が得意とする従来型のジャケットヒ-タ-は主に半導体を製造する際に使われてきた。高熱のガスを排気させる場合、配管を高い温度で維持する必要があるという。低温だとガスが固体に変化し配管内で固まることがあるためだ。

 同じ効果が得られる手法としては、配管自体にニクロム線を直接巻き付けてさらに外部と遮断する技術などもあるが、ジャケット型の場合、配管をメンテナンスする際にも簡単に取り外すことができるのが特徴だ。

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